Substrate conveying apparatus, exposure apparatus, substrate supporting apparatus, and method for manufacturing device

WO2011052683 Art A1 5. Mai 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011052683
Aktenzeichen: EP10826815
Anmeldetag: 28. Oktober 2010
Veröffentlichung: 5. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/06H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von