Substrate cartridge, substrate processing apparatus, substrate processing system, substrate processing method, control apparatus, and method for manufacturing display element

WO2011055781 Art A1 12. Mai 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011055781
Aktenzeichen: EP10828340
Anmeldetag: 5. November 2010
Veröffentlichung: 12. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B65H75/18H01L51/50H05B33/02H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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