Apparatus and method for measuring position and/or motion using surface micro-structure

WO2011056318 Art A2 12. Mai 2011

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011056318
Aktenzeichen: EP10828719
Anmeldetag: 23. September 2010
Veröffentlichung: 12. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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