Apparatus for measuring amount of water vapor transmission and method for measuring amount of water vapor transmission
WO2011058717
Art A1
19. Mai 2011
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011058717
- Aktenzeichen
- EP10829685
- Anmeldetag
- 2. November 2010
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N15/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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