Semiconductor device manufacturing method
WO2011059035
Art A1
19. Mai 2011
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011059035
- Aktenzeichen
- EP10829994
- Anmeldetag
- 11. November 2010
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3205H01L21/288H01L21/768H01L23/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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