Filter implement, filter housing method, light exposure apparatus, and device production method

WO2011059055 Art A1 19. Mai 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011059055
Aktenzeichen: EP10830014
Anmeldetag: 12. November 2010
Veröffentlichung: 19. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/04F16B5/10F24F3/16F24F7/06G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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