Method and apparatus for removing phosphorus and boron from polysilicon by continuously smelting

WO2011060717 Art A1 26. Mai 2011

Anmelder: Dalian University of Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011060717
Aktenzeichen: EP10831132
Anmeldetag: 17. November 2010
Veröffentlichung: 26. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C01B33/037C01B33/02C30B28/06C30B29/06H01L31/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dalian University of Technology
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Dalian University of Technology

Die Dalian University of Technology ist eine chinesische staatliche Universität mit breitem naturwissenschaftlich-technischem Forschungsprofil. Das Portfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Fertigungsverfahren und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2004 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von