Device and method for thermal evaporation of silicon

WO2011060905 Art A2 26. Mai 2011

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., CreaTec Fischer & Co. GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011060905
Aktenzeichen: EP10778879
Anmeldetag: 12. November 2010
Veröffentlichung: 26. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
CreaTec Fischer & Co. GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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