Conveying device and vacuum apparatus

WO2011062051 Art A1 26. Mai 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011062051
Aktenzeichen: EP10831446
Anmeldetag: 1. November 2010
Veröffentlichung: 26. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B25J15/00B25J15/08H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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