Sample treatment device, sample treatment system, and method for treating a sample

WO2011062162 Art A1 26. Mai 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011062162
Aktenzeichen: EP10831556
Anmeldetag: 16. November 2010
Veröffentlichung: 26. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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