Apparatus and method for enhancing the cool down of radiatively heated substrates

WO2011063091 Art A2 26. Mai 2011

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011063091
Aktenzeichen: EP10832159
Anmeldetag: 18. November 2010
Veröffentlichung: 26. Mai 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/324H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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