Vacuum drainage discharging device

WO2011064929 Art A1 3. Juni 2011

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011064929
Aktenzeichen
EP10832785
Anmeldetag
15. September 2010
Veröffentlichung
3. Juni 2011
Rechtsraum
WO
IPC
F16T1/20F16T1/18F16K31/18F16K51/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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