Method for forming insulating film

WO2011064957 Art A1 3. Juni 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011064957
Aktenzeichen: EP10832813
Anmeldetag: 11. November 2010
Veröffentlichung: 3. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/318C23C14/06C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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