Power-supply device
WO2011064958
Art A1
3. Juni 2011
Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011064958
- Aktenzeichen
- EP10832814
- Anmeldetag
- 12. November 2010
- Veröffentlichung
- 3. Juni 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/46C23C14/00C23C14/34G05F1/02H05H1/00H05H1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ulvac, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
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