Power-supply device

WO2011064958 Art A1 3. Juni 2011

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011064958
Aktenzeichen
EP10832814
Anmeldetag
12. November 2010
Veröffentlichung
3. Juni 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H05H1/46C23C14/00C23C14/34G05F1/02H05H1/00H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ulvac, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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