Charged-particle microscope and method for controlling the charged-particle microscope

WO2011064960 Art A1 3. Juni 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011064960
Aktenzeichen: EP10832816
Anmeldetag: 15. November 2010
Veröffentlichung: 3. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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