Positive radiation-sensitive composition, cured film, and method for forming same

WO2011065215 Art A1 3. Juni 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011065215
Aktenzeichen
EP10833062
Anmeldetag
8. November 2010
Veröffentlichung
3. Juni 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/023G03F7/004G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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