Exposure unit and method for exposing substrate

WO2011065386 Art A1 3. Juni 2011

Anmelder: NSK Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011065386
Aktenzeichen: EP10833232
Anmeldetag: 24. November 2010
Veröffentlichung: 3. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NSK Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NSK

Japanischer Hersteller von Wälzlagern und Präzisionsmaschinenkomponenten mit Sitz in Tokio, unter anderem für Automobil- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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