An Electrostatic Chuck With an Angled Sidewall

WO2011065965 Art A2 3. Juni 2011

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011065965
Aktenzeichen: EP10833685
Anmeldetag: 22. November 2010
Veröffentlichung: 3. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/458H01L21/48C23F4/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von