Piezoelectrically driven valve and piezoelectrically driven flow volume control apparatus

WO2011067891 Art A1 9. Juni 2011

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011067891
Aktenzeichen: EP10834347
Anmeldetag: 4. November 2010
Veröffentlichung: 9. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: F16K49/00F16K7/14F16K31/02F16K37/00G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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