Method for defect inspection and apparatus for defect inspection

WO2011068056 Art A1 9. Juni 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011068056
Aktenzeichen: EP10834508
Anmeldetag: 22. November 2010
Veröffentlichung: 9. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01B15/08G01N23/225H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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