A system for producing patterned silicon carbide structures

WO2011068884 Art A2 9. Juni 2011

Anmelder: University Of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011068884
Aktenzeichen: EP10835064
Anmeldetag: 1. Dezember 2010
Veröffentlichung: 9. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University Of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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