Vacuum processing apparatus and processing method using vacuum processing apparatus

WO2011070667 Art A1 16. Juni 2011

Anmelder: Shimadzu Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011070667
Aktenzeichen: EP09852063
Anmeldetag: 10. Dezember 2009
Veröffentlichung: 16. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shimadzu Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shimadzu

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Kyoto. Shimadzu entwickelt Analyse- und Messgeräte, medizinische Bildgebungssysteme sowie Komponenten für Luft- und Raumfahrt, Industrie und Wissenschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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