Tray for cvd and film-forming method using same

WO2011070741 Art A1 16. Juni 2011

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011070741
Aktenzeichen: EP10835669
Anmeldetag: 29. November 2010
Veröffentlichung: 16. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31C23C16/458H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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