Cylindrical fixed member of thread-groove exhaust unit and vacuum pump using same
WO2011070856
Art A1
16. Juni 2011
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011070856
- Aktenzeichen
- EP10835778
- Anmeldetag
- 19. Oktober 2010
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
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