Method for processing laminated electrode
WO2011071028
Art A1
16. Juni 2011
Anmelder: Ulvac, Inc., Tohoku University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011071028
- Aktenzeichen
- EP10835948
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2010
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065H01L21/8246H01L27/105H01L43/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ulvac, Inc.
Tohoku University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
2.159 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
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