Porous Barrier For Evenly Distributed Purge Gas in A Microenvironment

WO2011072260 Art A2 16. Juni 2011

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011072260
Aktenzeichen: EP10836779
Anmeldetag: 10. Dezember 2010
Veröffentlichung: 16. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673H01L21/68B65D85/86B65D85/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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