Vacuum deposition method and vacuum deposition apparatus

WO2011074551 Art A1 23. Juni 2011

Anmelder: Hirata Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011074551
Aktenzeichen
EP10837577
Anmeldetag
13. Dezember 2010
Veröffentlichung
23. Juni 2011
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/24C23C14/12H01L51/50H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hirata Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hirata

Hirata ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs- und Fertigungsanlagen, unter anderem für die Elektronik- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verpackungs- und Fördertechnik sowie Werkzeug- und Fertigungstechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Titel betreffen Pressvorrichtungen und Produktionsverfahren für Displayeinheiten.

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