Semiconductor device, measurement apparatus, and measurement method of relative permittivity

WO2011074590 Art A1 23. Juni 2011

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011074590
Aktenzeichen
EP10837616
Anmeldetag
8. Dezember 2010
Veröffentlichung
23. Juni 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G01R27/26H01L21/822H01L27/04H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Semiconductor Energy Laboratory Co. Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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