Beam transport system for extreme ultraviolet light source

WO2011075346 Art A1 23. Juni 2011

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011075346
Aktenzeichen: EP10838123
Anmeldetag: 7. Dezember 2010
Veröffentlichung: 23. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G06K7/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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