Exposure method, and exposure device

WO2011077697 Art A1 30. Juni 2011

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011077697
Aktenzeichen: EP10838936
Anmeldetag: 20. Dezember 2010
Veröffentlichung: 30. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/22G02B5/20G02F1/13G02F1/1335H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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