Radiation-sensitive resin composition and compound contained therein

WO2011077941 Art A1 30. Juni 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011077941
Aktenzeichen: EP10839175
Anmeldetag: 7. Dezember 2010
Veröffentlichung: 30. Juni 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C07C303/28C07C309/75H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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