Radiation-Sensitive Composition

WO2011077993 Art A1 30. Juni 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011077993
Aktenzeichen
EP10839226
Anmeldetag
14. Dezember 2010
Veröffentlichung
30. Juni 2011
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08F220/10G03F7/004H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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