Electro-mechanical converter, spatial optical modulator, exposure device, and methods for manufacturing them

WO2011080883 Art A1 7. Juli 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011080883
Aktenzeichen: EP10840743
Anmeldetag: 13. Dezember 2010
Veröffentlichung: 7. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B81B3/00B81C1/00G02B26/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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