Movable body drive method, movable body apparatus, exposure method, exposure apparatus, and device manufacturing method

WO2011081215 Art A1 7. Juli 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011081215
Aktenzeichen: EP10805849
Anmeldetag: 24. Dezember 2010
Veröffentlichung: 7. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G05B19/19G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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