Substrate case and substrate accommodation apparatus

WO2011081220 Art A1 7. Juli 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011081220
Aktenzeichen: EP10805853
Anmeldetag: 28. Dezember 2010
Veröffentlichung: 7. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B65H75/14H01L21/673B65H18/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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