Cleaning method for removing post via etch residue

WO2011081512 Art A2 7. Juli 2011

Anmelder: Mimos Berhad 🇲🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011081512
Aktenzeichen: EP10841336
Anmeldetag: 8. November 2010
Veröffentlichung: 7. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mimos Berhad
Land: 🇲🇾 Malaysia

🇲🇾 Mimos Berhad

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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