Optisches Element mit einer Mehrzahl von Reflektiven Facettenelementen

WO2011082872 Art A1 14. Juli 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011082872
Aktenzeichen: EP10782236
Anmeldetag: 16. November 2010
Veröffentlichung: 14. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/09G02B26/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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