Sorbate-containing compositions for use in copper chemical mechanical planarization

WO2011083475 Art A1 14. Juli 2011

Anmelder: Technion Research & Development Foundation Ltd. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011083475
Aktenzeichen
EP11703932
Anmeldetag
6. Januar 2011
Veröffentlichung
14. Juli 2011
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technion Research & Development Foundation Ltd.
Land
🇮🇱 Israel
🇮🇱 Technion Research & Development Foundation Ltd.

Israelische Technologietransfer-Organisation des Technion (Israel Institute of Technology), zuständig für Patentierung und Kommerzialisierung von Forschungsergebnissen. Sitz in Haifa, Israel.

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