Sorbate-containing compositions for use in copper chemical mechanical planarization
WO2011083475
Art A1
14. Juli 2011
Anmelder: Technion Research & Development Foundation Ltd. 🇮🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011083475
- Aktenzeichen
- EP11703932
- Anmeldetag
- 6. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 14. Juli 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C09G1/02H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technion Research & Development Foundation Ltd.
- Land
- 🇮🇱 Israel
🇮🇱
Technion Research & Development Foundation Ltd.
Israelische Technologietransfer-Organisation des Technion (Israel Institute of Technology), zuständig für Patentierung und Kommerzialisierung von Forschungsergebnissen. Sitz in Haifa, Israel.
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