Metal alkoxide compound and process for production of metal-containing thih film using the compound

WO2011083820 Art A1 14. Juli 2011

Anmelder: Ube Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011083820
Aktenzeichen: EP11731818
Anmeldetag: 6. Januar 2011
Veröffentlichung: 14. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C07C31/125C07F7/00C07F7/28C23C16/40H01L21/8242H01L27/108

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ube Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ube Industries

Ube Industries war ein japanischer Mischkonzern mit Sitz in Ube, tätig in den Bereichen Chemie, Zement und Maschinenbau. Das Unternehmen firmiert seit 2022 als UBE Corporation.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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