Pattern forming method, pattern, chemical amplification resist composition and resist film

WO2011087144 Art A1 21. Juli 2011

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011087144
Aktenzeichen: EP11733010
Anmeldetag: 13. Januar 2011
Veröffentlichung: 21. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038G03F7/004G03F7/32H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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