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WO2011089925 Art A1 28. Juli 2011

Anmelder: ULVAC, Inc., Tohoku Miyoshi Industry Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011089925
Aktenzeichen
EP11734532
Anmeldetag
25. Januar 2011
Veröffentlichung
28. Juli 2011
Rechtsraum
WO
IPC
F25D23/00A01F25/00B65D81/18B65D81/22B65D81/24B65D81/26F25D25/00F25D25/02B65D53/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ULVAC, Inc.
Tohoku Miyoshi Industry Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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