Method for producing semiconductor wafer

WO2011089979 Art A1 28. Juli 2011

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011089979
Aktenzeichen: EP11734586
Anmeldetag: 14. Januar 2011
Veröffentlichung: 28. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B7/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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