Lithography method using tilted evaporation

WO2011090262 Art A2 28. Juli 2011

Anmelder: Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011090262
Aktenzeichen: EP10844058
Anmeldetag: 10. November 2010
Veröffentlichung: 28. Juli 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology

Das Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology (KRIBB) ist eine staatliche südkoreanische Forschungseinrichtung mit Patenten in Biotechnologie, Genomik und Bioengineering.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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