Fluid controller and flow control device

WO2011092929 Art A1 4. August 2011

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011092929
Aktenzeichen
EP10844683
Anmeldetag
25. November 2010
Veröffentlichung
4. August 2011
Rechtsraum
WO
IPC
F16K37/00F16K31/124G05D7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujikin Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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