Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing, chemical mechanical polishing method using same, and kit for preparing aqueous dispersion for chemical mechanical polishing

WO2011093195 Art A1 4. August 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011093195
Aktenzeichen: EP11736909
Anmeldetag: 20. Januar 2011
Veröffentlichung: 4. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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