Radiation-Sensitive Resin Composition

WO2011093280 Art A1 4. August 2011

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011093280
Aktenzeichen: EP11736993
Anmeldetag: 25. Januar 2011
Veröffentlichung: 4. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C08F220/10G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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