Storage cell and storage method
WO2011093363
Art A1
4. August 2011
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2011093363
- Aktenzeichen
- EP11737075
- Anmeldetag
- 27. Januar 2011
- Veröffentlichung
- 4. August 2011
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/8246G11C11/15H01L27/105H01L29/82H01L43/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Vertreten von
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