Storage cell and storage method

WO2011093363 Art A1 4. August 2011

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2011093363
Aktenzeichen
EP11737075
Anmeldetag
27. Januar 2011
Veröffentlichung
4. August 2011
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/8246G11C11/15H01L27/105H01L29/82H01L43/08
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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