Spin coater and spin coat method

WO2011096329 Art A1 11. August 2011

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011096329
Aktenzeichen: EP11739678
Anmeldetag: 27. Januar 2011
Veröffentlichung: 11. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: B05D1/40B05C11/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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