Silicon wafer, method for manufacturing same, and method for manufacturing semiconductor device

WO2011096489 Art A1 11. August 2011

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011096489
Aktenzeichen: EP11739837
Anmeldetag: 3. Februar 2011
Veröffentlichung: 11. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/322H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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