Gaseinlassorgan mit Prallplattenanordnung

WO2011098420 Art A1 18. August 2011

Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2011098420
Aktenzeichen: EP11706189
Anmeldetag: 7. Februar 2011
Veröffentlichung: 18. August 2011
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C30B25/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Aixtron SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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